边缘传感器和缺陷检查装置

摘要

本发明提供一种能够可靠检测透明或半透明物体中所产生的缺口或开裂等缺陷的边缘传感器和缺陷检查装置。本发明的边缘传感器从多个感光单元以规定间隔排列而成的线型传感器的输出来对位于单色平行光的光路中的透明体或半透明体的边缘位置进行检测时，从自由空间侧开始对线型传感器的输出进行搜索，将物体其边缘产生的光量分布图案当中其光量下降至第一光量阈值的位置作为第一检测位置检出，而且将光量进一步下降后增加至第二光量阈值的位置作为所述物体的第二检测位置检出。而且根据沿边缘扫描检查部位时的第一和第二检测位置的变化来检测缺口或开裂等缺陷。

主权项

一种边缘传感器，包括：多个感光单元以规定间隔排列而成的线型传感器；将单色平行光朝向该线型传感器投射的光源；以及对所述线型传感器的输出进行分析来对位于所述单色平行光的光路中的物体其边缘进行检测的运算部，其特征在于，所述运算部包括第一位置检测手段和第二位置检测手段，所述第一位置检测手段将对透明或半透明物体的边缘所产生的光量分布图案从其一端部朝向另一端部搜索时光量下降至第一光量阈值的位置作为所述物体的第一检测位置求出，所述第二位置检测手段将从检测到的第一检测位置起光量进一步下降后增加至第二光量阈值的位置作为所述物体的第二检测位置来求出，所述第一光量阈值和所述第二光量阈值根据检测出边缘没有缺陷的透明或半透明物体的检测位置时边缘部分的光量跌落程度来设定。