度量衡校准晶圆

摘要

本发明公开了一种度量衡校准晶圆，包括晶圆本体，所述晶圆本体上排列有若干校准单元，每个校准单元具有一矩形区域、以及分布于该矩形区域四角处并用于定位该矩形区域的定位区域；每个矩形区域内，具有平行于其设定方向的两个相邻第一校准槽，两个相邻第一校准槽的深度和宽度均相同，所述深度用以在台阶高度的测量场景下进行测量校准；两个相邻第一校准槽之间的间距以及任一第一校准槽的宽度，用以在关键尺寸的测量场景下进行测量校准；所述设定方向为该矩形区域的长边方向或宽边方向。本发明的度量衡校准晶圆，实现了利用单片晶圆对多种测量场景下的多个尺寸进行测量校准，大大提高了校准晶圆使用的便利程度，降低了校准晶圆的使用成本。

主权项

一种度量衡校准晶圆，包括晶圆本体，其特征在于：所述晶圆本体上排列有若干校准单元，每个校准单元具有一矩形区域、以及分布于该矩形区域四角处并用于定位该矩形区域的定位区域；每个矩形区域内，具有平行于其设定方向的两个相邻第一校准槽，两个相邻第一校准槽的深度和宽度均相同，所述深度用以在台阶高度的测量场景下进行测量校准；两个相邻第一校准槽之间的间距以及任一第一校准槽的宽度，用以在关键尺寸的测量场景下进行测量校准；所述设定方向为该矩形区域的长边方向或宽边方向。