| 摘要 |
Beschrieben sind eine Einrichtung und ein Verfahren zur mikroskopischen Bildaufnahme einer Probenstruktur. Vorgehesen sind eine Optik (30, 38, 54, 56, 58) zum Abbilden der Probenstruktur (34) und eine Referenzstruktur (50) sowie eine Drifterfassungseinheit (42, 52) zum Erfassen einer Drift der Probenstruktur (34) relativ zur Optik (30, 38, 54, 56, 58) anhand der abgebildeten Referenzstruktur. Die Optik (30, 38, 54, 56, 58) weist eine erste Schärfenebene (46) zum Abbilden der Probenstruktur (34) und zugleich eine relativ zur ersten Schärfenebene (46) lageveränderbare zweite Schärfenebene (60) zum Abbilden der Referenzstruktur (50) auf.
|
