摘要 |
Die Erfindung betrifft eine Korrektureinrichtung zur Korrektur der sphärischen Aberration zur Verwendung in einem Elektronenmikroskop. Die Korrektureinrichtung hat ein optisches System zur Korrektur der sphärischen Aberration, das es ermöglicht, die Vergrößerung zu verändern. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform kann die Drehbeziehung zwischen zwei mehrpoligen Elementen 8, 9 in einer Ebene senkrecht zur optischen Achse ohne Änderung der Phasenwinkel der mehrpoligen Elemente geändert werden. Eine Drehkorrekturlinse 12 ist in diesem Fall in der Brennebene einer Elektronenbahn angeordnet, die zwischen zwei axialsymmetrischen Linsen 10, 11 verläuft, um die Elektronen in einer Ebene senkrecht zur optischen Achse zu drehen.
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