| 摘要 |
照射面上の所定の照射位置に、第１方向に延び、且つ、第２方向に所定の線幅を有するライン状の光を照射する光照射装置が、基板と、基板上に第１方向に沿って並べられた光源と、各光源からの光を平行光となるように整形する光学素子とを有する複数の光学ユニットを備え、複数の光学ユニットは、照射面に対して第１方向に平行なライン状の光を出射する複数の第１光学ユニット及び第２光学ユニットから成り、各第１光学ユニットは、出射光が所定の集光位置を通り、且つ、照射面上において線幅内に収まるように配置され、各第２光学ユニットは、出射光が照射面上において線幅内に収まるように配置され、照射位置から鉛直上方の所定の範囲内において、各光学ユニットからの出射光のエネルギーの総和が略一定となる。 |
