Sensorelement zur kapazitiven Differenzdruckmessung

摘要

Es wird ein kapazitiver Differenzdrucksensor mit einem einfachen Aufbau vorgeschlagen, der auch in aggressiven Messumgebungen zuverlässige Messergebnisse liefert. Das Sensorelement (10) zur kapazitiven Differenzdruckmessung umfasst eine Sensormembran (11), die in einem Schichtaufbau auf einem Halbleitersubstrat (1) realisiert ist und eine Kaverne (12) überspannt. In die Kaverne (12) mündet ein Druckanschluss (13). Das Sensorelement (10) umfasst ferner einen Messkondensator mit einer beweglichen Elektrode (15) auf der Sensormembran (11) und einer feststehenden Gegenelektrode (16), die gegenüber der beweglichen Elektrode (15) auf dem Boden der Kaverne (12) angeordnet ist. Erfindungsgemäß ist die Kaverne (12) mit einem dielektrischen Fluid (17) verfüllt.