Siliciumcarbideinkristall und Verfahren zu dessen Herstellung

摘要

Es wird ein Siliciumcarbideinkristall (3) beschrieben, der Stickstoff als Dotiermittel und Aluminium als Dotiermittel einschließt. Die Stickstoffkonzentration beträgt 2 × 1019 cm–3 oder höher, und das Verhältnis von Aluminiumkonzentration zu Stickstoffkonzentration liegt innerhalb des Bereichs von 5% bis 40%.