| 发明名称 |
Verfahren zum Materialabtrag an Festkörpern |
| 摘要 |
<p>Die vorliegende Erfindung betrifft ein Verfahren zum Materialabtrag an Festkörpern durch Laserablation, bei dem die räumliche und/oder zeitliche Kohärenz der Laserstrahlung vor dem Schritt der Materialbearbeitung, d. h. vor und/oder unmittelbar beim Auftreffen der Laserstrahlung auf dem zu bearbeitenden Festkörper herabgesetzt wird.</p> |
| 申请公布号 |
DE102010026331(A1) |
申请公布日期 |
2012.02.02 |
| 申请号 |
DE20101026331 |
申请日期 |
2010.07.07 |
| 申请人 |
FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FOERDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V. |
发明人 |
KNORZ, ANNEROSE;PREU, RALF;PETERS, MARIUS;HAUSER, HUBERT;BLAESI, BENEDIKT |
| 分类号 |
H01L21/268;B23K26/06;B23K26/36;H01L21/304 |
主分类号 |
H01L21/268 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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