发明名称 钻石研磨粒子及磁性硬碟基板的研磨方法
摘要 本发明之课题系提供一种在磁性硬碟基板的表面,不会形成异常突起,且可明确且均一地形成线密度40条/μm以上的纹理条痕的钻石研磨粒子及其制造方法。;本发明用以解决问题之手段系为:由利用冲击法所生成之人工钻石所构成的钻石研磨粒子。人工钻石的密度系在3.0~3.35g/cm3的范围,最好是在3.2~3.35 cm3的范围内,而人工钻石的二次粒子的平均粒径系在30nm~500nm的范围内。且人工钻石之一次粒子的平均粒径系在20nm以下的范围。纹理加工系将在水或以水为基础的水溶液中,分散了钻石研磨粒子的研磨浆,供给至旋转的磁性硬碟基板10表面,并利用接触辊11将研磨带13送出且按压于其上。
申请公布号 TWI357438 申请公布日期 2012.02.01
申请号 TW093132622 申请日期 2004.10.27
申请人 日本精密研磨股份有限公司 日本 发明人 熊坂登行
分类号 C09K3/14 主分类号 C09K3/14
代理机构 代理人 林志刚 台北市中山区南京东路2段125号7楼
主权项
地址 日本