| 摘要 |
本发明是提供防止源自上下移动轴的粉尘造成基板的污染，并且将让生产性提升之液晶用的玻璃基板或或半导体晶圆等之薄片状的工件搬进搬出储存柜之多关节机械手。;该多关节机械手(1)是一种由载置搬送物之手部(8)、及与前述手部(8)相连结且具备至少2个以上的回转关节(3)、(4)、(5)并以朝向1个方向移动前述手部(8)的方式进行伸缩且以在轴方向上相对向的方式配置之多关节臂(2)、及将前述多关节臂(2)与向上下移动的移动机构(11)予以相连结之支撑构件(10)、及被装备在前述移动机构(11)之具有回旋功能之台座(13)所组成之多关节机械手(1)，前述移动机构(11)系与前述手部(8)的移动方向相同的方向配置在柱体(12)，被配置在前述移动机构(11)之支撑构件(10)则是朝向与前述手部(8)的移动方向成垂直的方向突出，与前述多关节臂(2)相连结。 |
