吸附性气体分析装置

摘要

本发明涉及一种吸附性气体分析装置，其在NH3、HC等具有吸附性的气体成分浓度较低的情况下，也能够高精度地进行测定，而且能够提高该浓度测定的响应速度。本发明的吸附性气体分析装置包括：具有测定样本气体的测定单元(21)以及用于向该测定单元(21)导入样本气体的导入端口(2P)的装置主体(2)；向测定单元(21)照射激光(L1)的激光照射部(22)；对导入到导入端口(2P)的样本气体进行加热的加热管(4)；使样本气体为负压，由加热管(4)对该负压的样本气体进行加热并将该样本气体导入到装置主体(2)的流量限制部(32)；使测定单元(21)内以及从流量限制部(32)的下游侧至测定单元(21)为止的流路维持为负压的负压泵(24)。

主权项

一种吸附性气体分析装置，其对样本气体中所包含的具有极性的吸附性成分的浓度进行测定，其特征在于，包括：装置主体，其具有用于对所述样本气体进行测定的测定单元和用于向该测定单元导入样本气体的导入端口；激光照射部，其用于向所述测定单元照射激光；加热管，其连接于所述导入端口，并对被导入该导入端口的样本气体进行加热；流量限制部，其用于使所述样本气体为负压，且使该负压的样本气体由所述加热管加热之后导入到装置主体；负压泵，其连接于所述测定单元，从取样开始时到测定结束时为止将所述测定单元的内部保持在负压，并且从取样开始时到测定结束时为止将所述流量限制部的下游侧至所述测定单元的流路保持在负压。