一种刀具表面多元复合硬质薄膜的制备方法

摘要

本发明公开一种刀具表面多元复合硬质薄膜的制备方法，涂层材料为高纯度的Ti、Cr、AL金属和N2、Ar，在非平衡磁控溅射离子镀设备内，在电磁场和等离子场的作用下，Ti、Cr、AL、Ar和N2电离成离子，在电场作用下在刀具表面反应生成TiN/AlN/CrN的多元多层复合膜；Ti、Cr、AL金属在非平衡磁控溅射离子镀设备内按一定规律排列，刀具随着非平衡磁控溅射离子镀设备的工件架一起转动，制备出TiN/AlN/CrN的多元多层复合膜。与现有技术相比，本发明提供的刀具表面多元复合硬质薄膜的制备方法，多元多层TiN/AlN/CrN复合膜涂层可根据不同切削条件，随时调整膜层的成分、厚度和膜层过渡层，涂层刀具的通用性更好，且多元多层复合膜涂层在生产过程中无废水废气，对环境无污染，环境效益高。

主权项

一种刀具表面多元复合硬质薄膜的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：(1)刀具的清洗，去除刀具表面的氧化皮、附着物等杂质；(2)去除刀具表面的油脂；(3)漂洗掉刀具表面去油污物质的残留物；(4)刀具除水并干燥；(5)刀具放入非平衡磁控溅射离子镀设备的工件架上，使非平衡磁控溅射离子镀设备达到一定的真空度；(6)利用Ar、Ti、AL、Cr的离子对刀具表面刻蚀，使其露出洁净表面；(7)涂层材料为高纯度的Ti、Cr、AL金属和N2、Ar，在非平衡磁控溅射离子镀设备内，在电磁场和等离子场的作用下，Ti、Cr、AL、Ar和N2电离成离子，在电场作用下在刀具表面反应生成TiN/AlN/CrN的多元多层复合膜；(8)Ti、Cr、AL金属在非平衡磁控溅射离子镀设备内按一定规律排列，刀具随着非平衡磁控溅射离子镀设备的工件架一起转动，制备出TiN/AlN/CrN的多元多层复合膜。