一种ITO膜片光刻自动识别定位方法

摘要

本发明公开了一种ITO膜片光刻自动识别定位方法，其特征在于：有两个紫外光灯光源、两套CCD成像设备及两套成像光学系统装置于掩模版及膜片的下方，两套CCD成像设备通过两套成像光学系统摄取掩模版及膜片底面的左右对准标记，由图像采集卡采集图像数据，输入至计算机中对准标记图像进行处理、定位并实时显示，通过计算机屏幕上显示的掩模版及膜片左右对准标记图像的相对位置误差，调整膜片的位置，从而实现膜片与掩模版自动精确对位，本发明结构简单、操作方便、自动成像清晰精确度达3-5μm、光刻加工质量高。

主权项

一种ITO膜片光刻自动识别定位方法，其特征在于：有两个紫外光灯光源、两套CCD成像设备及两套成像光学系统装置于掩模版及膜片的下方，两套CCD成像设备通过两套成像光学系统摄取掩模版对准标记及膜片对准标记，由图像采集卡采集图像数据，输入至计算机中对准标记图像进行处理、定位并实时显示，通过计算机屏幕上显示的掩模版对准标记及膜片对准标记图像的相对位置误差，调整膜片的位置，从而实现膜片与掩模版自动精确对位。