膜料加工装置及具有该膜料加工装置的蒸镀设备

摘要

一种用于平整蒸镀膜料的膜料加工装置，其包括一具有一收容膜料的容置孔的坩埚，一与容置孔相配合以平整容置孔内的膜料的平整盖，一具有一与平整盖相耦合的驱动轴的驱动器，及一包括一光源及一影像感测装置的监控装置。平整盖具有一与容置孔的形状相对应的平整面，一开设于平整面且朝平整盖内部延伸的凹槽，及开设于平整盖除平整面以外的其他表面的第一、第二通光孔，第一、第二通光孔分别与凹槽连通。驱动器驱动平整盖绕驱动轴旋转以闭合或开启容置孔。平整盖闭合容置孔时，平整面朝向容置孔的底部，光源发出的光线从第一通光孔射入，经容置孔内的膜料反射后由第二通光孔射向影像感测装置。本发明另外提供一种具有所述膜料加工装置的蒸镀设备。

主权项

一种膜料加工装置，其用于平整蒸镀膜料，所述膜料加工装置包括：一个坩埚，其具有一个收容膜料的容置孔；其特征在于：所述膜料加工装置进一步包括一个平整盖，一个驱动器，及一个监控装置；所述平整盖与所述坩埚的容置孔相配合以平整容置孔内的膜料；所述平整盖具有一个形状与所述容置孔的形状相对应的平整面，一个开设于所述平整面且朝所述平整盖内部延伸的凹槽，及开设于所述平整盖除所述平整面以外的其他表面的第一通光孔与第二通光孔，所述第一通光孔与所述第二通光孔分别与所述凹槽连通；所述驱动器具有一个与所述平整盖相耦合的驱动轴，所述驱动器驱动所述平整盖绕所述驱动轴旋转以闭合或开启所述坩埚的容置孔；所述监控装置包括一个光源及一个影像感测装置，所述平整盖闭合所述容置孔时，所述平整面朝向所述容置孔的底部，所述光源发出的光线从所述第一通光孔射入，经所述容置孔内的膜料反射后由所述第二通光孔射向所述影像感测装置。