Substrate holder for lithographic apparatus,申请号EP20040076312-传众专利搜索

发明名称	Substrate holder for lithographic apparatus
摘要
申请公布号	EP1482370(B1)	申请公布日期	2012.02.01
申请号	EP20040076312	申请日期	2004.04.29
申请人	ASML NETHERLANDS B.V.	发明人	ZAAL, KOEN JACOBUS JOHANNES MARIA;VAN EMPEL, TJARKO ADRIAAN RUDOLF;OTTENS, JOOST JEROEN
分类号	G03F7/20	主分类号	G03F7/20
代理机构		代理人
主权项
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