发明名称 用于保持可控弯液面中的液体隔离的系统、方法和装置
摘要 一种形成并使用邻近头的系统和方法。该邻近头包括头表面,该头表面包括第一区域、第二区域和内部回路区域。该第一区域包括第一平坦表面区域和多个第一分散孔。该多个第一分散孔中的每一个连接于多个第一导管中相应的一个。该多个第一分散孔位于该头表面并延伸穿过该第一平坦表面区域。该多个第一分散孔的至少一部分排列在第一排中。该第二区域包括第二平坦区域和多个第二分散孔。该多个第二分散孔中的每一个连接于多个第二导管中相应的一个。该多个第二分散孔位于该头表面并延伸穿过该第二平坦表面区域。该内部回路区域包括多个内部回路分散孔。该内部回路区域被置于该第一区域和该第二区域之间并毗邻该第一区域和该第二区域。该多个内部回路分散孔中的每一个连接于多个内部回路导管中相应的一个。该多个内部回路分散孔位于该头表面并延伸穿过该头表面。该多个内部回路分散孔中的至少一部分排列在内部回路排中。该第一排和该内部回路排大体平行。其中该多个内部回路分散孔中的每一个的边缘的第一部分凹陷入该头表面中。
申请公布号 CN101711422B 申请公布日期 2012.02.01
申请号 CN200880021202.7 申请日期 2008.05.13
申请人 朗姆研究公司 发明人 罗伯特·奥唐奈;(锡恩)林·乘宇;阿诺德·霍洛坚科
分类号 H01L21/302(2006.01)I 主分类号 H01L21/302(2006.01)I
代理机构 上海胜康律师事务所 31263 代理人 周文强;李献忠
主权项 一种邻近头,包含:头表面,该头表面包括:包括第一平坦表面区域和多个第一分散孔的第一区域,该多个第一分散孔中的每一个连接于多个第一导管中相应的一个,该多个第一分散孔位于该头表面并延伸穿过该第一平坦表面区域,该多个第一分散孔的至少一部分排列在第一排中;包括第二平坦区域和多个第二分散孔的第二区域,该多个第二分散孔中的每一个连接于多个第二导管中相应的一个,该多个第二分散孔位于该头表面并延伸穿过该第二平坦表面区域;以及包括多个内部回路分散孔的内部回路区域,该内部回路区域被置于该第一区域和该第二区域之间并毗邻该第一区域和该第二区域,该多个内部回路分散孔中的每一个连接于多个内部回路导管中相应的一个,该多个内部回路分散孔位于该头表面并延伸穿过该头表面,该多个内部回路分散孔中的至少一部分排列在内部回路排中,该第一排和该内部回路排大体平行,其中该多个内部回路分散孔中的每一个的边缘的第一部分凹陷入该头表面中,其中该多个内部回路分散孔的每一个的边缘的该凹陷的第一部分以第一角度凹陷入该头表面内,该第一角度形成从该多个内部回路分散孔的每一个的边缘的该凹陷的第一部分向该第一排延伸出第一距离的倒角。
地址 美国加利福尼亚州