单晶炉的真空压力传感器的安装结构

摘要

本实用新型涉及单晶炉检测设备技术领域，特别是一种单晶炉的真空压力传感器的安装结构，包括三通装置，三通装置包括直通主管和直通主管侧面的支管，直通主管的一端与压力检测口连接，另一端与真空探头连接，支管上具有用于与真空压力传感器连接的快拆法兰装置。在快拆法兰装置的法兰对接处安装粉尘过滤装置。粉尘过滤装置为带滤网的金属密封圈。本实用新型的有益效果是：通过加装的三通结构，增加了压力检测途径，可方便的与真空压力传感器连接，扩大压力检测范围，当设备故障时可以及时发出警报。同时加装的三通结构增加了检测元件距离压力检测口的距离，减少了粉尘污染，粉尘过滤装置更是进一步保护了真空压力传感器。

主权项

一种单晶炉的真空压力传感器的安装结构，其特征是：包括三通装置(3)，所述的三通装置(3)包括直通主管和直通主管侧面的支管，直通主管的一端与压力检测口连接，另一端与真空探头(1)连接，支管上具有用于与真空压力传感器(2)连接的快拆法兰装置(5)。