| 发明名称 | 利用频率扫描干涉仪对多表面测试物体的测量 | ||
| 摘要 | 频率扫描干涉仪(10)被配置成贯穿宽范围的预期偏移同时测量测试物体(12)的多个表面(14、15、16)。将知晓的测试表面的预期位置与基于合成测量波长(λeff)的模糊间隔(U)序列相比较，以使测量表面在模糊间隔内居中。 | ||
| 申请公布号 | CN102341669A | 申请公布日期 | 2012.02.01 |
| 申请号 | CN201080010629.4 | 申请日期 | 2010.01.29 |
| 申请人 | 康宁股份有限公司 | 发明人 | C·A·李;M·J·特罗诺洛恩 |
| 分类号 | G01B9/02(2006.01)I;G01B11/24(2006.01)I | 主分类号 | G01B9/02(2006.01)I |
| 代理机构 | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人 | 钱慰民 |
| 主权项 | 一种准备用于测量测试物体的多个表面中的形貌变化的方法，包括：获取关于测试物体的多个表面之间沿基准轴的间距的信息，获取关于其中可不模糊地测量形貌变化的沿测量轴的频移干涉仪的模糊间隔序列的信息，标识与模糊间隔之间的边界相邻的排除区，以及相对于频移干涉仪安装测试物体，使得测试物体的多个表面位于干涉仪的预定模糊间隔内且在排除区之外。 | ||
| 地址 | 美国纽约州 | ||