发明名称 | 激光辐照设备 | ||
摘要 | 一种激光辐照设备,其沿扫描方向向包括多个像素区域的半导体层提供激光束。所述激光辐照设备包括:至少一个激光掩膜,包括分别与所述多个像素区域的部分面对的多个狭缝组;以及激光发生器,产生穿过所述至少一个激光掩膜的所述多个狭缝组的所述激光束。 | ||
申请公布号 | CN102339738A | 申请公布日期 | 2012.02.01 |
申请号 | CN201110182983.1 | 申请日期 | 2011.06.27 |
申请人 | 三星移动显示器株式会社 | 发明人 | 李源规;陈圣铉;吴在焕;张荣真;崔宰凡 |
分类号 | H01L21/268(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/268(2006.01)I |
代理机构 | 北京德琦知识产权代理有限公司 11018 | 代理人 | 罗正云;宋志强 |
主权项 | 一种激光辐照设备,沿扫描方向向包括多个像素区域的半导体层提供激光束,所述激光辐照设备包括:至少一个激光掩膜,包括分别与所述多个像素区域的部分面对的多个狭缝组;以及激光发生器,产生穿过所述至少一个激光掩膜的所述多个狭缝组的所述激光束。 | ||
地址 | 韩国京畿道 |