发明名称 激光辐照设备
摘要 一种激光辐照设备,其沿扫描方向向包括多个像素区域的半导体层提供激光束。所述激光辐照设备包括:至少一个激光掩膜,包括分别与所述多个像素区域的部分面对的多个狭缝组;以及激光发生器,产生穿过所述至少一个激光掩膜的所述多个狭缝组的所述激光束。
申请公布号 CN102339738A 申请公布日期 2012.02.01
申请号 CN201110182983.1 申请日期 2011.06.27
申请人 三星移动显示器株式会社 发明人 李源规;陈圣铉;吴在焕;张荣真;崔宰凡
分类号 H01L21/268(2006.01)I 主分类号 H01L21/268(2006.01)I
代理机构 北京德琦知识产权代理有限公司 11018 代理人 罗正云;宋志强
主权项 一种激光辐照设备,沿扫描方向向包括多个像素区域的半导体层提供激光束,所述激光辐照设备包括:至少一个激光掩膜,包括分别与所述多个像素区域的部分面对的多个狭缝组;以及激光发生器,产生穿过所述至少一个激光掩膜的所述多个狭缝组的所述激光束。
地址 韩国京畿道