减压处理室内的部件清洁方法和基板处理装置

摘要

本发明涉及减压处理室内的部件清洁方法和基板处理装置。为了使附着在减压处理室内的部件上的微颗粒飞散，清洁部件，采用将电压加在部件上，利用麦克斯韦应力使微颗粒飞散的方法；使微颗粒带电，利用库仑力飞散的方法，将气体导入减压处理室中，使气体冲击波到达附着有微颗粒的部件，使微颗粒飞散的方法；使部件温度上升，利用热应力和热泳动力，使微颗粒飞散的方法；或将机械振动给与部件，使微颗粒飞散的方法。另外，使飞散的微颗粒在较高压的气氛下被气体流夹带除去。

主权项

一种部件清洁方法，使附着在减压处理室的部件上的微颗粒飞散，其特征为，具有：在所述减压处理室内减压至第1压力的步骤；在经过了所述减压的状态下使附着在所述部件上的所述微颗粒带电成规定极性的步骤；将极性与所述微颗粒的带电电荷相同的电压加在所述部件上，使附着在所述部件上的所述微颗粒飞散的步骤；和将所述减压处理室的压力升高至比所述第1压力高的1.3×103Pa以上，有效地使飞散的所述微颗粒夹带在气体流中，从所述减压处理室内除去所述微颗粒的步骤。