| 发明名称 | 除泡装置及除泡方法 | ||
| 摘要 | 本发明提供一种除泡装置，其用于半导体、光电产业或其它产业涂布工艺中会产生气泡的化学液，包括：一壳体、至少两下隔板及至少一上隔板。该壳体相对的两侧分别设有一输入孔及一输出孔，该壳体的顶部设有至少一回流孔，该输入孔、该输出孔及该回流孔贯通该壳体的内、外部。该两下隔板设于壳体内的底壁，该上隔板设于壳体内的顶壁，该上隔板及该两下隔板交错设置；借此，可用于去除气泡，回收利用化学液。本发明还提供一种除泡方法。 | ||
| 申请公布号 | CN102335525A | 申请公布日期 | 2012.02.01 |
| 申请号 | CN201010231005.7 | 申请日期 | 2010.07.19 |
| 申请人 | 兆星科技有限公司 | 发明人 | 陈俊宏 |
| 分类号 | B01D19/02(2006.01)I | 主分类号 | B01D19/02(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京市中联创和知识产权代理有限公司 11364 | 代理人 | 刘春生;张松林 |
| 主权项 | 一种除泡装置，其用于半导体、光电产业或其它产业涂布工艺中会产生气泡的化学液，其特征在于，包括：一壳体，其相对的两侧分别设有一输入孔及一输出孔，该壳体的顶部设有至少一回流孔，该输入孔、该输出孔及该回流孔贯通该壳体的内、外部；至少两下隔板，其设于该壳体内的底壁；以及至少一上隔板，其设于该壳体内的顶壁，该上隔板及该两下隔板交错设置。 | ||
| 地址 | 中国台湾台北市 | ||