发明名称 GaN衬底以及采用该衬底的器件
摘要 GaN衬底以及采用该衬底的器件。GaN衬底(30)的生长面(30a)是相对于m-面或a-面离轴定向的平面。亦即,在GaN衬底(30)中,生长面(30a)是已被偏离定向的m-面或a-面。由于,m-面和a-面是非极性面,利用该GaN衬底(30),制造半导体发光器件,避免压电场的影响,使之可以实现优越的发射效率。根据m-面或a-面来对生长面施加离轴角,在衬底上生长晶体中实现高质量形态。利用该GaN衬底制造半导体发光器件,能够进一步提高发射效率。
申请公布号 CN102339915A 申请公布日期 2012.02.01
申请号 CN201110304304.3 申请日期 2008.05.19
申请人 住友电气工业株式会社 发明人 秋田胜史
分类号 H01L33/00(2010.01)I 主分类号 H01L33/00(2010.01)I
代理机构 中原信达知识产权代理有限责任公司 11219 代理人 梁晓广;关兆辉
主权项 一种具有平面的GaN衬底,其中所述平面以相对于m 面至少在<0001>方向或<11 20>方向或者相对于a 面至少在<0001>方向或<1 100>方向的离轴角定向,并且其中所述离轴角大于等于0.03度小于等于1度。
地址 日本大阪府大阪市
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