四分等比例分光装置及具有该装置的激光刻线机

摘要

本发明公开一种四分等比例分光装置，包括反射率均为100％的第一反射镜及第二反射镜；反射率和透射率均为50％的第一分光镜、第二分光镜及第三分光镜；第一聚焦镜、第二聚焦镜、第三聚焦镜及第四聚焦镜；第一分光镜、第三分光镜、第一反射镜互相平行的依次置于入射的准直光束所在的同一直线上，准直光束经过该四分等比分光系统后，形成四束功率均为占准直光束25％的第一、第二、第三、第四光束。该四分等比例分光装置的光学元件少，节约空间同时减少光能的损失；该第一分光镜、第二分光镜、第三分光镜的反射率均为50％，最后形成四束功率均占准直光束能量25％的光，能量均匀，有利于刻画出更高质量的线条。

主权项

一种四分等比例分光装置，用于对入射的准直光束进行分光，其特征在于，包括：反射镜组，所述反射镜组包括反射率均为100％的第一反射镜及第二反射镜；分光镜组，所述分光镜组包括反射率和透射率均为50％的第一分光镜、第二分光镜及第三分光镜；聚焦镜组，所述聚焦镜组包括焦距相等的第一聚焦镜、第二聚焦镜、第三聚焦镜及第四聚焦镜；所述第一分光镜、第三分光镜、第一反射镜互相平行的依次置于入射的准直光束所在的同一直线上，所述准直光束呈倾斜地入射至所述第一分光镜上形成第一透射光及第一反射光，所述第一透射光入射至第三分光镜上形成第三透射光及第三反射光，所述第三透射光入射至第一反射镜上形成第四反射光，所述第一反射光、第三反射光及第四反射光相互平行且位于准直光束的同一侧；所述第二分光镜、第二反射镜互相平行的置于准直光束对应第一分光镜所产生的第一反射光的一侧，并且所述第一反射光呈倾斜地入射至所述第二分光镜上形成第二透射光及第二反射光，所述第二反射光入射至所述第二反射镜上形成与所述第二透射光相平行的第五反射光；所述第一聚焦镜设于所述第五反射光上形成第一束光，所述第二聚焦镜设于所述第二透射光上形成第二束光，所述第三聚焦镜设于所述第三反射光上形成第三束光，所述第四聚焦镜设于所述第四反射光上形成第四束光。