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发明名称
摘要
申请公布号 JP4864270(B2) 申请公布日期 2012.02.01
申请号 JP20020283295 申请日期 2002.09.27
申请人 发明人
分类号 H01L21/28;H01L21/338;H01L29/417;H01L29/778;H01L29/812 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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