旋转基板支撑件及其使用方法

摘要

本发明揭示一种利用旋转基板支撑件处理一基板的方法及设备。于一实施例中，用于处理基板的设备包括一处理室，其中设有一基板支撑组件。该基板支撑组件包括一基板支撑件，该基板支撑件具有一支撑表面及一加热器，该加热器设于支撑表面下方。一轴部耦接至该基板支撑件，且马达经由一转子(rotor)耦接至该轴部，以使基板支撑件转动。密封块则设于该转子周围并与的形成密封。密封块具有至少一密封件及至少一通道，沿该密封块与该轴部间的接口处设置。各通道耦接有端口以连接至泵。升举机构耦接至该轴部以提升与下降基板支撑件。

主权项

一种用于处理基板的设备，包括：处理室；连接至该处理室的伸缩部；具有设置于该处理室中的加热器的基板支撑件；以及将该基板支撑件连接至该伸缩部的密封块。