复合式连续加料器

摘要

本实用新型涉及一种复合式连续加料器，其设置于一成长炉上，包含有主加料器及副加料器，主加料器包含有进料腔体、容料器及升降机构，容料器内容置有多数料体，升降机构分别与进料腔体及容料器连接，并供容料器于进料腔体内进行升降作业。而副加料器具有置料容器、缓冲下料器及下料导引管，置料容器容置有多数料体，缓冲下料器设置于置料容器的出口端，以承接由置料容器输出的多数料体，并由下料导引管下料至成长炉内。本实用新型的复合式连续加料器通过主加料器及副加料器的设置，可同时应用于单多晶硅的成长炉，并且能够有效控制下料的数量及下料速度。

主权项

一种复合式连续加料器，设置于一成长炉(10)上，其特征在于该复合式连续加料器包括有：一与该成长炉(10)连接的主加料器(20)，具有一进料腔体(21)、一容料器(22)及一升降机构(23)，该进料腔体(21)与该成长炉(10)相连通，该容料器(22)容置有多数料体(40)，该升降机构(23)分别与该进料腔体(21)及该容料器(22)连接；及一与该成长炉(10)连接的副加料器(30)，具有一置料容器(31)、一缓冲下料器(32)及一下料导引管(33)，该置料容器(31)容置有多数该料体(40)，该缓冲下料器(32)设置于该置料容器(31)的一出口端(311)，该下料导引管(33)对应该缓冲下料器(32)的一缓冲下料口(321)并连通至该进料腔体(21)。