| 发明名称 | 具有用于传输平板衬底的传输辊的真空涂覆设备 | ||
| 摘要 | 本发明涉及一种真空涂覆设备，其具有用于平板衬底的传输系统，平板衬底被传输通过真空室。此传输系统包括数个平行布置的圆筒。可以提供位于真空室内部或外部的一个或数个电机作为用于这些圆筒的驱动装置。无论如何都经由磁耦合装置进行一个或多个电机与圆筒之间的耦合。因为在驱动装置和圆筒之间没有建立机械耦合，所以它们可以容易地互相分离，其允许使得圆筒以及与它们一起的溅射阴极设置在能够滑入和滑出真空室的滑入元件中。如果不是每个圆筒都设置有其各自的驱动装置，则与驱动装置耦合的圆筒可以经由V带等与其他圆筒连接。 | ||
| 申请公布号 | CN101092686B | 申请公布日期 | 2012.02.01 |
| 申请号 | CN200710106786.5 | 申请日期 | 2007.06.22 |
| 申请人 | 应用材料合资有限公司 | 发明人 | 尤尔根·亨利奇;安德里亚斯·绍尔;哈罗德·伍斯特;埃德加·哈勃科恩 |
| 分类号 | C23C14/34(2006.01)I;H01L21/677(2006.01)I | 主分类号 | C23C14/34(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京东方亿思知识产权代理有限责任公司 11258 | 代理人 | 赵飞 |
| 主权项 | 一种真空涂覆设备(1)，包括真空涂覆室(2)，数个可旋转传输辊(6‑9、99‑101)，其平行地布置在所述真空涂覆室(2)内，用于平板衬底(11)的传输，其特征在于：驱动装置(10、30‑33)，其布置在所述真空涂覆室(2)的外部，至少一个磁耦合装置(45、46、70)，其位于所述驱动装置和所述数个可旋转传输辊(6‑9、99‑101)中的传输辊(6)之间，其中，所述数个可旋转传输辊(6‑9、99‑101)是能够滑入和滑出所述真空涂覆室(2)的滑入元件(E‑E″′)的一部分，用于所述数个可旋转传输辊(6‑9、99‑101)的所述驱动装置(10)保留在所述真空涂覆室(2)的外部。 | ||
| 地址 | 德国阿尔岑瑙 | ||