高灵敏度光传感元件和使用该元件的光传感装置

摘要

本发明提供一种利用平面工艺在绝缘膜基板上同时形成高灵敏度、低噪声的光传感元件和多晶硅TFT的内置光传感器的图像显示装置。在用多晶硅膜形成了光传感元件的第一电极(11)和第二电极(12)之后，在其上层用非晶形硅膜形成光传感元件的受光层(13)。这时，同时形成多晶硅TFT。

主权项

一种形成在绝缘性基板上的光传感元件，其特征在于：在第一电极和第二电极上以及电极之间具有用第二半导体层制成的受光层，上述第一电极和上述第二电极中的至少一个用第一半导体层制成，上述第一半导体层和上述第二半导体层的相状态不同，或者上述第一半导体层和上述第二半导体层的半导体材料不同。