膜形成方法及膜形成装置

摘要

一种膜形成方法及膜形成装置，其包括：膜厚设定工序，设定在被涂敷物上形成的膜的膜厚；试喷出工序，考虑喷墨头的喷出特性，调整喷出液滴量和点间距，并且以任意选择的浓淡等级的灰度图案对膜形成区域试喷出液状材料；浓淡等级分布图生成工序，基于在试喷出工序中形成的膜的厚度，为了以膜厚设定工序中设定的膜厚来形成厚度均匀的膜，对于在被涂敷物上形成膜的膜形成区域，生成按单位面积设定喷出的液状材料的灰度图案的浓淡等级的分布图；膜形成工序，维持在试喷出工序中调整后的喷出液滴量和点间距，同时以基于在浓淡等级分布图生成工序中生成的浓淡等级分布图的浓淡等级的灰度图案，向被涂敷物喷出液状材料，从而在被涂敷物上形成膜。

主权项

一种膜形成方法，其使用喷墨头喷出液状材料，在被涂敷物上形成均匀的膜，其特征在于，包括：膜厚设定工序，其设定在所述被涂敷物上形成的膜的膜厚；试喷出工序，其考虑所述喷墨头的喷出特性，调整喷出液滴量和点间距，并且以任意选择的浓淡等级的灰度图案对膜形成区域试喷出液状材料；浓淡等级分布图生成工序，其基于在所述试喷出工序中形成的膜的厚度，为了以膜厚设定工序中设定的膜厚来形成厚度均匀的膜，对于在被涂敷物上形成膜的膜形成区域，生成按单位面积设定喷出的液状材料的灰度图案的浓淡等级的分布图；膜形成工序，其维持在所述试喷出工序中调整后的喷出液滴量和点间距，同时以基于在浓淡等级分布图生成工序中生成的浓淡等级分布图的浓淡等级的灰度图案，向被涂敷物喷出液状材料，从而在被涂敷物上形成膜。