发明名称 半导体器件清扫刷
摘要 本实用新型涉及半导体器件加工技术领域的工具,具体地说是涉及一种半导体器件清扫刷。半导体器件清扫刷,包括刷体和刷毛,其特征是:所述的刷体具有空芯结构,空芯部分的尾端接有抽气管,空芯部分在刷体和刷毛的间隙中有开口。为了达到较好的洗尘效果,所述的刷毛的长度小于1厘米。这样的半导体器件清扫刷具有使用时灰尘不会落在现场、更干净、能够保证产品质量的优点。
申请公布号 CN202134515U 申请公布日期 2012.02.01
申请号 CN201120229777.7 申请日期 2011.06.21
申请人 河南鸿昌电子有限公司 发明人 陈建民;陈建卫;陈磊
分类号 H01L21/00(2006.01)I;B08B1/00(2006.01)I 主分类号 H01L21/00(2006.01)I
代理机构 代理人
主权项 半导体器件清扫刷,包括刷体和刷毛,其特征是:所述的刷体具有空芯结构,空芯部分的尾端接有抽气管,空芯部分在刷体和刷毛的间隙中有开口。
地址 461500 河南省长葛市魏武大道河南鸿昌电子有限公司