发明名称 感光性树脂组合物、使用了该组合物的感光性元件、抗蚀图案的形成方法及印刷配线板的制造方法
摘要 本发明涉及一种感光性树脂组合物,其为含有(A)粘合剂聚合物、(B)具有烯键式不饱和键的光聚合性化合物及(C)光聚合引发剂的感光性树脂组合物,其中,(C)光聚合引发剂含有下述通式(1)所示的化合物。式(1)中,R<sup>1</sup>表示卤素原子、氨基、羧基、碳数为1~6的烷基、碳数为1~6的烷氧基或碳数为1~6的烷基氨基,m表示1~5的整数。<img file="dda0000088586910000011.GIF" wi="775" he="499" />
申请公布号 CN102341753A 申请公布日期 2012.02.01
申请号 CN201080010276.8 申请日期 2010.02.23
申请人 日立化成工业株式会社 发明人 味冈芳树;石充;矶纯一;薄叶爱美
分类号 G03F7/031(2006.01)I;C08F2/44(2006.01)I;C08F2/50(2006.01)I;C08F20/36(2006.01)I;G03F7/004(2006.01)I;G03F7/027(2006.01)I;G03F7/029(2006.01)I;G03F7/033(2006.01)I;H05K3/06(2006.01)I;H05K3/18(2006.01)I 主分类号 G03F7/031(2006.01)I
代理机构 永新专利商标代理有限公司 72002 代理人 白丽;陈建全
主权项 1.一种感光性树脂组合物,其为含有(A)粘合剂聚合物、(B)具有烯键式不饱和键的光聚合性化合物以及(C)光聚合引发剂的感光性树脂组合物,其中,所述(C)光聚合引发剂含有下述通式(1)所示的化合物:<img file="FDA0000088586880000011.GIF" wi="775" he="499" />式(1)中,R<sup>1</sup>表示卤素原子、氨基、羧基、碳数为1~6的烷基、碳数为1~6的烷氧基或碳数为1~6的烷基氨基,m表示1~5的整数,在m为2以上的情况下,多个存在的R<sup>1</sup>相同或不同。
地址 日本东京