膜料加工装置及具有该膜料加工装置的蒸镀设备

摘要

一种平整蒸镀膜料的膜料加工装置包括一具有容置孔的坩埚，一与容置孔相配合以平整膜料的平整盖，一耦合平整盖的驱动器，及一氢氧焰喷嘴。平整盖具有一与容置孔的形状相对应的平整面，一设于平整盖除平整面以外的其他表面的第一通孔，及多个设于平整面的第二通孔，每一第二通孔均从平整面朝平整盖内部延伸且与第一通孔相通。驱动器具有一与平整盖相耦合的驱动轴，驱动器驱动平整盖绕驱动轴旋转以闭合或开启容置孔。氢氧焰喷嘴朝向容置孔设置，平整盖闭合容置孔时，平整面朝向容置孔的底部，氢氧焰喷嘴位于第一通孔的延伸方向上且与第一通孔相对。本发明另外提供一种具有所述膜料加工装置的蒸镀设备。

主权项

一种膜料加工装置，其用于平整蒸镀膜料，所述膜料加工装置包括：一个坩埚，其具有一个收容膜料的容置孔；其特征在于：所述膜料加工装置进一步包括一个平整盖，一个驱动器，及一个氢氧焰喷嘴；所述平整盖与所述坩埚的容置孔相配合以平整容置孔内的膜料；所述平整盖具有一个形状与所述容置孔的形状相对应的平整面，一个开设于所述平整盖除所述平整面以外的其他表面的第一通孔，及多个开设于所述平整面的第二通孔，每一所述第二通孔均从所述平整面朝所述平整盖内部延伸且与所述第一通孔相通；所述驱动器具有一个与所述平整盖相耦合的驱动轴，所述驱动器驱动所述平整盖绕所述驱动轴旋转以闭合或开启所述坩埚的容置孔；所述氢氧焰喷嘴朝向所述容置孔设置，所述平整盖闭合所述容置孔时，所述平整面朝向所述容置孔的底部，所述氢氧焰喷嘴位于所述第一通孔的延伸方向上且与所述第一通孔相对。