发明名称 | 一种直拉法生产单晶硅用石墨坩埚夹取装置 | ||
摘要 | 本实用新型公开了一种直拉法生产单晶硅用石墨坩埚夹取装置,包括支撑立柱、安装在支撑立柱上部的把手、安装在所述支撑立柱底部的底座、通过连接组件一安装在所述支撑立柱中部外侧的多边形可伸缩性托架和布设在所述多边形可伸缩性托架下方的多个夹爪,多个所述夹爪组成一个用于夹取坩埚的夹取机构,且夹取机构的内部结构和尺寸均与所述坩埚的结构和尺寸一致。本实用新型结构设计合理、安装紧凑、加工制作及安装方便且使用操作简便、使用效果好,能有效解决传统石墨坩埚提取方法存在的提取操作不便、需石墨坩埚冷却一段时间后才能进行提取、实际提取时所存在的不安全系数较多等实际问题。 | ||
申请公布号 | CN202131393U | 申请公布日期 | 2012.02.01 |
申请号 | CN201120247002.2 | 申请日期 | 2011.07.13 |
申请人 | 西安华晶电子技术股份有限公司 | 发明人 | 成文辉;国峰 |
分类号 | C30B15/00(2006.01)I | 主分类号 | C30B15/00(2006.01)I |
代理机构 | 西安创知专利事务所 61213 | 代理人 | 谭文琰 |
主权项 | 一种直拉法生产单晶硅用石墨坩埚夹取装置,其特征在于:包括支撑立柱、安装在所述支撑立柱上部的把手(1)、安装在所述支撑立柱底部的底座、通过连接组件一安装在所述支撑立柱中部外侧的多边形可伸缩性托架和布设在所述多边形可伸缩性托架下方的多个夹爪,多个所述夹爪组成一个用于夹取坩埚(12)的夹取机构,且所述夹取机构的内部结构和尺寸均与所述坩埚(12)的结构和尺寸一致。 | ||
地址 | 710077 陕西省西安市高新区锦业二路91号 |