一种静压气浮轴承振动特性的检测装置

摘要

一种静压气浮轴承振动特性的检测装置，它通过减速器(14)和丝杠(12)的调节控制静压气浮轴承(5)与机座(1)上表面的距离，利用薄膜压力传感器(22)测量静压气浮轴承(5)内的气压分布，位移传感器(22)测量气膜厚度，通过设置在气腔进气管(8)上的气腔压力表(10)测量气腔(16)内的气压，通过设置在轴承进气管(3)上的轴承压力表(4)测量静压气浮轴承(5)的供气压力，激光干涉仪(20)测量静压气浮轴承(5)的振动特性。本实用新型可以检测静压气浮轴承在不同供气压力和不同气膜厚度下轴承内气体的压力变化以及轴承的振动特性，以便对静压气浮轴承进行振动特性检测并对轴承的结构参数进行优化。

主权项

一种静压气浮轴承振动特性的检测装置，它至少包括：基座(1)、轴承压力调节阀(2)、轴承进气管(3)、轴承压力表(4)、静压气浮轴承(5)、压板(6)、轴承固定件(7)、气腔进气管(8)、气腔压力调节阀(9)、气腔压力表(10)、限位螺栓(11)、丝杠(12)、机架(13)、减速器(14)、支架(15)、设置有气腔(17)的气腔体(16)、活塞(18)、轴承连接件(19)、激光干涉仪(20)、反射镜(21)、薄膜压力传感器(22)、位移传感器(23)，其特征在于：所述的薄膜压力传感器(22)固定在基座(1)上，轴承压力调节阀(2)和轴承压力表(4)安装在轴承进气管(3)上，轴承固定件(7)通过压板(6)安装在静压气浮轴承(5)上，轴承连接件(19)安装在轴承固定件(7)上，气腔体(16)通过限位螺栓(11)与轴承连接件(19)相连接，气腔进气管(8)与气腔体(16)相连接，气腔压力调节阀(9)和气腔压力表(10)安装在气腔进气管(8)上，活塞(18)位于气腔体(16)的下部，气腔体(16)安装在丝杠(12)上，丝杠(12)安装在机架(13)的下部，减速器(14)安装在机架(13)的上部，减速器(14)的输出轴与丝杠(12)相连接，机架(13)通过支架(15)固定在基座(1)上，在静压气浮轴承(5)上表面设置有反射镜(21)，在反射镜(21)的正上方固定有激光干涉仪(20)，位移传感器(23)固定在静压气浮轴承(5)和基座(1)上。