发明名称 | 一种真空吸笔 | ||
摘要 | 一种真空吸笔,具有吸盘和笔杆,所述吸盘与笔杆内腔联通,所述笔杆上有一控制孔,所述控制孔与笔杆内腔联通。本实用新型减少了对硅片的污染和损伤,可以使吸附力在硅片吸附面上均匀分布,不会在局部形成吸痕或者形成鼓包,降低了破片率;吸盘上具有一个凹陷,所述凹陷与所述吸盘表面具有高度差,可以形成透气的缝隙;吸盘表面上贴有贴膜,可以减少对硅片的污染和损伤。 | ||
申请公布号 | CN202132365U | 申请公布日期 | 2012.02.01 |
申请号 | CN201120232549.5 | 申请日期 | 2011.07.04 |
申请人 | 常州盛世电子技术有限公司 | 发明人 | 黄钦;王平;李晓华 |
分类号 | F16B47/00(2006.01)I | 主分类号 | F16B47/00(2006.01)I |
代理机构 | 常州佰业腾飞专利代理事务所(普通合伙) 32231 | 代理人 | 金辉 |
主权项 | 一种真空吸笔,其特征在于:具有吸盘(1)和笔杆(2),所述吸盘(1)与笔杆(2)内腔联通,所述笔杆(2)上有一控制孔(21),所述控制孔(21)与笔杆(2)内腔联通。 | ||
地址 | 213144 江苏省常州市武进区邹区镇工业集中区 |