发明名称 |
制备薄膜的方法 |
摘要 |
本发明提供一种制备薄膜的方法,包括以下步骤:采用溶胶凝胶法将重量比为20∶25∶3∶2的比例的四乙氧基硅烷、乙醇、去离子水及HCL混合制取溶胶溶液;然后,将溶胶溶液静置一段时间形成稳定的胶体溶液;再将胶体溶液与稀释剂按照比例混合形成涂布溶液;最后将涂布溶液涂布于基体上并干燥而形成薄膜。本发明通过调控胶体溶液与稀释剂之间的比例实现了对所制备的薄膜的厚度进行控制,因而本发明的操作简便、可在常温下进行、能精确调控薄膜的厚度而形成需要的膜厚,从而便于工业应用。 |
申请公布号 |
CN101397191B |
申请公布日期 |
2012.02.01 |
申请号 |
CN200710030719.X |
申请日期 |
2007.09.28 |
申请人 |
富港电子(东莞)有限公司;正崴精密工业股份有限公司 |
发明人 |
黄志豪 |
分类号 |
C03C17/00(2006.01)I;C04B41/00(2006.01)I |
主分类号 |
C03C17/00(2006.01)I |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
一种制备薄膜的方法,所述方法包括以下步骤:用溶胶凝胶法将重量比为20∶25∶3∶2的比例的四乙氧基硅烷、乙醇、去离子水及HCL混合制取溶胶溶液;将所述溶胶溶液静置一段时间形成稳定的胶体溶液;将胶体溶液与稀释剂按照比例混合形成涂布溶液;将所述涂布溶液涂布于基体上并干燥而形成薄膜。 |
地址 |
523455 广东省东莞市东坑镇工业大道 |