基于变磁通的两自由度超高频响超精密刀具伺服装置

摘要

本发明涉及一种金刚石车削创成光学自由曲面的基于变磁通的两自由度超高频响超精密刀具伺服装置，主要由基座、柔性铰链、磁质材料、弹性导轨和刀架组成，所述的柔性铰链多个，分成两组对称布置构成一个并联式机构；柔性铰链由多个连接在磁质材料安装面上的磁质材料通过变磁通装置驱动；所述的弹性导轨(5)是由至少两组柔性铰链组成的并联机构，每组柔性铰链至少2个；所述的刀架(6)与前端的两个柔性铰链和弹性导轨(5)连接；基座(1)、柔性铰链、磁质材料安装面、弹性导轨(5)和刀架(6)是通过电火花线切割加工而成的一个整体。本发明可获得超高频响特性和较大冲程，可实现刀尖相对于工件的复合往复直线和往复摆动运动。

主权项

一种基于变磁通的两自由度超高频响超精密刀具伺服装置，主要由基座、柔性铰链、磁质材料、弹性导轨和刀架组成，其特征在于所述柔性铰链的第一柔性铰链分成两组对称布置构成一个并联式机构；第一柔性铰链由连接在磁质材料安装面上的磁质材料通过变磁通装置驱动；所述的弹性导轨(5)是由至少两组所述柔性铰链的第二柔性铰链组成的并联机构，每组第二柔性铰链至少2个；所述的刀架(6)与该伺服装置前端的两个第一柔性铰链和弹性导轨(5)连接；基座(1)、柔性铰链、磁质材料安装面、弹性导轨(5)和刀架(6)是通过电火花线切割加工而成一个整体；整个伺服装置的结构由固定不动的基座(1)支撑，第一柔性铰链连接基座(1)和磁质材料安装面。