| 发明名称 | 鳍结构成形 | ||
| 摘要 | 提供一种形成鳍结构的方法。在基片上提供牺牲结构。鳍结构形成在该牺牲结构的侧面。鳍结构的形成包括多个循环，其中每个循环包括鳍沉积阶段和鳍形貌成形阶段。去除该牺牲结构。 | ||
| 申请公布号 | CN101371336B | 申请公布日期 | 2012.02.01 |
| 申请号 | CN200780002875.3 | 申请日期 | 2007.01.05 |
| 申请人 | 朗姆研究公司 | 发明人 | 黄志松;S·M·列扎·萨贾迪 |
| 分类号 | H01L21/033(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/033(2006.01)I |
| 代理机构 | 上海胜康律师事务所 31263 | 代理人 | 周文强;李献忠 |
| 主权项 | 一种形成鳍结构的方法，包括：在基片上提供牺牲结构；在该牺牲结构的侧面形成鳍结构，包括多个循环，其中每个循环包括：鳍沉积阶段，包括：提供沉积气体；由该沉积气体形成等离子；沉积来自该等离子的沉积材料以形成鳍；停止该沉积气体流；以及鳍形貌成形阶段，包括提供不同于该沉积气体的形貌成形气体；由该形貌成形气体形成等离子；成形所沉积的沉积材料的形貌；停止该形貌成形气体流；以及去除该牺牲结构。 | ||
| 地址 | 美国加利福尼亚州 | ||