发明名称 Method for modeling distibution curve of reflectance and method, reflectometer for measuring thickness using the same
摘要
申请公布号 KR101107507(B1) 申请公布日期 2012.01.31
申请号 KR20090024362 申请日期 2009.03.23
申请人 发明人
分类号 G01B11/06;H01L21/66 主分类号 G01B11/06
代理机构 代理人
主权项
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