发明名称 PROBE APPARATUS FOR WAFER SOLDER BUMP
摘要
申请公布号 KR101108479(B1) 申请公布日期 2012.01.31
申请号 KR20090124547 申请日期 2009.12.15
申请人 发明人
分类号 H01L21/66;G01R1/067;H01L21/60 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人
主权项
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