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发明名称 POLISHING HEAD TESTING WITH MOVABLE PEDESTAL
摘要
申请公布号 IL190140(A) 申请公布日期 2012.01.31
申请号 IL20080190140 申请日期 2008.03.13
申请人 APPLIED MATERIALS, INC. 发明人
分类号 G01M99/00 主分类号 G01M99/00
代理机构 代理人
主权项
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