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经营范围
发明名称
ANTENNA FOR PRODUCING UNIFORM PROCESS RATES
摘要
申请公布号
IL170926(A)
申请公布日期
2012.01.31
申请号
IL20050170926
申请日期
2005.09.18
申请人
LAM RESEARCH CORPORATION
发明人
分类号
H01J37/32;H01Q1/36;H01Q7/00
主分类号
H01J37/32
代理机构
代理人
主权项
地址
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