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发明名称 SUSCEPTOR AND VERTICAL SUBSTRATES TREATMENT EQUIPMENT WITH THE SAME
摘要
申请公布号 KR101108576(B1) 申请公布日期 2012.01.30
申请号 KR20100032364 申请日期 2010.04.08
申请人 发明人
分类号 H01L21/22;H01L21/683 主分类号 H01L21/22
代理机构 代理人
主权项
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