| 摘要 |
<p>Détecteur de particules comprenant un substrat (10, 30, 40) en matériau semi-conducteur, dans lequel est formé au moins une cavité traversante (11, 31, 41), délimitée par une section d'entrée (110) et une section de sortie (111), sa section d'entrée étant destinée à être reliée à une source de flux d'air, ledit substrat supportant : - des moyens optiques comprenant au moins une source laser (12, 32, 42) et au moins un guide d'ondes (13, 33, 43), relié à ladite au moins une source laser et débouchant à proximité de la section de sortie de ladite cavité et - des moyens photodétecteurs (14, 34, 44) situés à proximité de la section de sortie de ladite cavité et décalés par rapport à l'axe optique des moyens optiques.</p> |
