| 摘要 |
Es wird ein Verfahren zum Lagern von mehreren ebenen Substraten in einem rohrförmigen Ofen zum Durchführen eines Wärmebehandlungsprozesses offenbart. Das Verfahren verwendet eine Bootvorrichtung mit einem unteren Rahmen, der zwei Längenabschnitte und einen ersten Breitenabschnitt, einen zweiten Breitenabschnitt und ein oder mehrere mittlere Elemente, die zwischen den zwei Längenabschnitten verbunden sind, umfasst. Ferner umfasst das Verfahren das Montieren eines abnehmbaren ersten gerillten Stabs jeweils an dem ersten Breitenabschnitt, dem zweiten Breitenabschnitt und jedem von dem einem oder den mehreren mittleren Elementen, wobei jeder erste gerillte Stab erste mehrere Rillen aufweist, die durch eine erste räumliche Konfiguration gekennzeichnet sind. Das Verfahren umfasst weiterhin das Einsetzen von einem oder zwei Substraten von mehreren ebenen Substraten in jede Rille in der Bootvorrichtung bei einem Abstand getrennt.
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