一种湿度检测装置

摘要

本实用新型实施例公开了一种湿度检测装置，涉及湿度检测技术领域，为防止在薄膜晶体管的生产过程中出现像素不良而发明。所述湿度检测装置包括：传动单元、湿度感应单元、信号处理单元；所述传动单元，用于控制所述湿度感应单元与基板接触；所述湿度感应单元，用于当与所述基板接触时，检测所述基板的湿度，当所述基板的湿度高于预设湿度时，根据所述基板的湿度生成湿度信号，并将所述湿度信号发送给所述信号处理单元；所述信号处理单元，用于根据来自所述湿度感应单元的湿度信号生成湿度提示信号，以提示所述基板的湿度情况。本实用新型实施例主要用于薄膜晶体管的生产过程中。

主权项

一种湿度检测装置，其特征在于，包括：传动单元、湿度感应单元、信号处理单元；所述传动单元，用于控制所述湿度感应单元与基板接触；所述湿度感应单元，用于当与所述基板接触时，检测所述基板的湿度，当所述基板的湿度高于预设湿度时，根据所述基板的湿度生成湿度信号，并将所述湿度信号发送给所述信号处理单元；所述信号处理单元，用于根据来自所述湿度感应单元的湿度信号生成湿度提示信号，以提示所述基板的湿度情况。