| 发明名称 | 用于检测电子束的暴露的导体件系统和方法 | ||
| 摘要 | 披露了一种用于检测沿路径产生的电子束(106)强度的检测器(104)。一种示例性的检测器包括连接到支撑件(112)的暴露的导体件(105)，该支撑件(112)配置为将该暴露的导体件(105)设置于电子束(106)路径内；与该暴露的导体件(105)隔离的接地导体件(107)，该导体件(107)部分围绕该暴露的导体件(105)，以形成等离子罩，该等离子罩具有窗口，该窗口至少设置在该电子束的方向上。 | ||
| 申请公布号 | CN101297218B | 申请公布日期 | 2012.01.25 |
| 申请号 | CN200680039939.2 | 申请日期 | 2006.10.10 |
| 申请人 | 利乐拉瓦尔集团及财务有限公司 | 发明人 | 拉尔斯·奥克·内斯隆德;汉斯·哈尔斯坦迪斯;安德斯·克里斯蒂安松;安德斯·赫德斯·奥尔松 |
| 分类号 | G01T1/18(2006.01)I;H01J47/14(2006.01)I | 主分类号 | G01T1/18(2006.01)I |
| 代理机构 | 上海胜康律师事务所 31263 | 代理人 | 周文强;李献忠 |
| 主权项 | 一种用于检测沿路径产生的电子束(106)的强度的检测器(104；300)，其包括：连接到支撑件(112)的暴露的导体件(105；404)，该支撑件(112)配置为将该导体件设置于电子束(106)的路径内；以及与该暴露的导体件(105；404)隔离的第二导体件(107；402)，该第二导体件(107；402)连接到电压电位并部分围绕该暴露的导体件(105；404)以形成等离子罩，该等离子罩具有窗口，该暴露的导体件(105；404)通过该窗口暴露于电子束(106)，该窗口至少设置在该电子束路径的方向上。 | ||
| 地址 | 瑞士普利 | ||