一种基于碳纳米管的介质阻挡微放电结构的制备方法

摘要

本发明公开一种基于碳纳米管的介质阻挡微放电结构的制备方法，具体包括如下步骤：在衬底上制备三维微放电电极；在微电极表面沉积聚合物介质薄膜；形成介质和电极交替结构；在未覆盖介质的微电极上沉积一维纳米材料。本发明可以有效改善介质对微放电电极表面的覆盖性，增强了介质对离化的抑制作用，所形成的交替介质和电极结构，可避免电极间的碳纳米管的短路故障，提高器件的工作寿命和制备合格率。

主权项

一种基于碳纳米管的介质阻挡微放电结构的制备方法，包括如下步骤：步骤1，在衬底上制备三维微放电电极；步骤2，通过旋涂的方法在微放电电极表面沉积聚合物介质薄膜；步骤3，形成介质和电极交替结构：利用光刻胶作为掩膜层，通过光刻、显影方法，对介质薄膜图形化，图形化后仅在微放电电极对中的一个电极表面覆盖有介质薄膜；步骤4，在未覆盖介质的微放电电极上沉积一维纳米材料。