化学气相沉积炉用预热装置

摘要

一种化学气相沉积炉用预热装置，包括预热筒、导气管和基座，均由石墨材料制成。在炉体的料柱内安放预热筒；预热筒内有导气管，该导气管的下端嵌入基座的内孔中，并在基座的内孔中与进气管连通。基座置于承料盘上，并用胶结剂与承料盘胶结，预热筒置于基座之上，并且基座上表面对称的分布有预热筒的出气口，工件叠放在承料盘上形成料柱。反应气体从进气管通过导气管进入预热筒顶部后返回，从预热筒底部出气口流入料柱。气体通过在预热装置内的循环得到充分的预热，有效地提高了料柱底部的温度和料柱温度场的均匀性，使所有工件的密度离散度小于3％。石墨材料制成的基座、导气管和预热筒既避免了铁与反应气体之间的催化反应，也避免了导气管的开裂和脆断。

主权项

一种化学气相沉积炉用预热装置，包括炉体、料柱、进气管和承料盘；料柱位于炉体内，置于承料台的上表面；其特征在于，还包括基座、预热筒和导气管，并且所述的基座、预热筒和导气管均用石墨制成；基座和预热筒均位于料柱内，并且基座置于承料台的上表面中心处；预热筒安放在基座底板的上表面，并套装在位于基座上表面中心的预热筒定位套筒上；预热筒的内壁与所述预热筒定位套筒的外表面之间间隙配合；导气管装入预热筒内，并使所述导气管的大直径端位于基座的中心孔内；导气管的外壁与预热筒内壁之间的距离为30mm～60mm；当气体流量在80升/分 120升/分时，导气管的外壁与预热筒内壁之间距离的优选范围为55mm 60mm；当气体流量在50升/分 80升/分时，导气管的外壁与预热筒内壁之间距离的优选范围为35mm 40mm；导气管的高度小于预热筒的内腔高度10 20mm；进气管的一端穿过承料台的中心孔，装入导气管的内孔中；进气管的另一端与气源管道连接；基座的底部涂敷有胶结剂。