基板检查用夹具及其中的连接电极部的电极结构

摘要

提供一种基板检查用夹具，能够降低触杆与连接电极部的接触电阻值，同时具有稳定的接触电阻值而与使用次数无关。为检查受检基板的电气特性而实现基板检查装置主体与设置在受检基板的布线图形上的多个基板受检点之间的电气导通，该基板检查用夹具具有触杆群、支持触杆群的触杆支持体和连接在基板检查装置主体上的连接电极体；该触杆群由导电性的棒状的触杆构成，该触杆的两端具有实现电气导通的端部，一方端部压接一个基板受检点，该连接电极体具备连接电极部，该连接电极部面对触杆群的各个触杆的另一方端部设置；在连接触杆群的另一方端部与连接电极体时，各个另一方端部的近旁的侧周面的至少一部分接触与其相面对的连接电极部的一部分而成为电气导通状态。

主权项

一种基板检查用夹具，为检查受检基板的电气特性而实现基板检查装置主体与设置在该受检基板的布线图形上的多个基板受检点之间的电气导通，其中，所述基板检查用夹具具有触杆群、支持所述触杆群的触杆支持体和连接在所述基板检查装置主体上的连接电极体；该触杆群由导电性的棒状的触杆构成，该触杆的两端具有实现电气导通的端部，一方端部压接至一个所述基板受检点；该连接电极体具备连接电极部，该连接电极部面对所述触杆群的各个触杆的另一方端部；在连接所述触杆群的所述另一方端部与所述连接电极体时，各个所述另一方端部的近旁的侧周面的至少一部分接触与其相面对的所述连接电极部的一部分，由此而成为电气导通状态。